用于从晶圆制造商到芯片制造商运送晶圆的清洁盒。

自动/手动对应FOSB。

可能打开/关闭负载端口符合SEMI62。

友好的操作设计。

顶部凸缘容易OHT运输（选配）。

韩国首次批量生产和供应。

晶片存储量：25片

间距：10毫米

外尺寸：(高328.0mm) x (宽387.3mm) x (深344.5mm)

重量：4.2kg（无晶圆）；7.2kg（带晶圆）

*重量的改变取决于选配。